Вакуумныя кампаненты

Тэрмічная апрацоўка ў асноўным уключае працэсы акіслення, дыфузіі і адпалу.Акісленне - гэта дадатковы працэс, пры якім крамянёвыя пласціны змяшчаюць у высокатэмпературную печ і дадаюць кісларод, які ўступае ў рэакцыю з імі з адукацыяй кремнезема на паверхні пласціны.Дыфузія заключаецца ў перамяшчэнні рэчываў з вобласці высокай канцэнтрацыі ў вобласць нізкай канцэнтрацыі праз малекулярны цеплавы рух, і працэс дыфузіі можа быць выкарыстаны для легіравання пэўных легіруючых рэчываў у крэмніевую падкладку, тым самым змяняючы праводнасць паўправаднікоў.